一种电子枪蒸发源荧光校准装置

摘要

本实用新型涉及镀膜生产中的电子枪蒸发源，具体涉及一种电子枪蒸发源荧光校准装置。所述装置在熔池上开口处安装荧光棒。所述熔池呈碗装结构，荧光棒为棒状结构，所述荧光棒固定在熔池的上边缘位置。所述荧光棒在电子束的轰击下发光。本实用新型有益效果：本实用新型能够对电子束的工作区域进行校准，荧光棒直观的反映了电子束的中心位置，有效地提高了装置的工作效率，避免由于电子束偏离引起的工作失误。

主权项

一种电子枪蒸发源荧光校准装置，包括熔池(1)、阴极(2)、屏蔽装置(3)和偏转系统(4)，其特征在于：在熔池(1)上开口处安装荧光棒(5)，熔池(1)呈碗装结构，荧光棒(5)为棒状结构，所述荧光棒(5)固定在熔池(1)的上边缘位置，荧光棒(5)在电子束的轰击下发光。