一种超声波光刻胶喷涂装置

摘要

一种超声波光刻胶喷涂装置，包括超声波喷头以及位于超声波喷头下方的工作台，其特征在于：所述超声波喷头固定在X轴移动机械臂上，所述X轴移动机械臂上还固定有喷头偏转电机，所述喷头偏转电机的传动端与超声波喷头相连接，所述工作台的两端分别滑动连接在Y轴机械臂和Y轴滑轨上，所述工作台上安装有加热载板，所述加热载板的底部设置有发热管加热线。本发明可以使晶片的上下面和侧面均匀喷涂光刻胶，上下面的光刻胶厚度误差小于5%，侧面的光刻胶厚度大于10微米，加热载板可使光刻胶短时间内固化，减少流动性，保证侧臂可以多层覆盖，使晶片侧面覆盖均匀。

主权项

一种超声波光刻胶喷涂装置，包括超声波喷头（1）以及位于超声波喷头（1）下方的工作台（2），其特征在于：所述超声波喷头（1）固定在X轴移动机械臂（3）上，所述X轴移动机械臂（3）上还固定有喷头偏转电机（4），所述喷头偏转电机（4）的传动端与超声波喷头（1）相连接，所述工作台（2）的两端分别滑动连接在Y轴机械臂（5）和Y轴滑轨（6）上，所述工作台（2）上安装有加热载板（7），所述加热载板（7）的底部设置有发热管加热线（8）。