具有改善的产量的制造较高硅烷的方法

摘要

本发明涉及用于制造六氯乙硅烷或Ge₂Cl₆的一种方法，其特征在于，在含有SiCl₄或GeCl₄的气体中，a)借助频率为f的交流电压来生成非热等离子，并且其中在该等离子中耦合输入具有重复率为g的至少一个电磁脉冲，其电压分量具有在上升边缘中的10V ns^‑1至1kV ns^‑1的边缘陡度和500ns至100µs的脉冲宽度b，其中获得一种液相，以及b)从该液相中获得纯的六氯乙硅烷或Ge₂Cl₆。

主权项

用于制造六氯乙硅烷或Ge₂Cl₆的方法，其特征在于，在含有SiCl₄或GeCl₄的气体中，a) 借助频率f为1Hz至100MHz的交流电压来激励非热等离子，并且其中在该等离子中耦合输入具有重复率g为50kHz至50MHz的至少一个电磁脉冲，该至少一个电磁脉冲的幅度为1至15kV_pp，且该至少一个电磁脉冲的电压分量具有在上升边缘中的10 V·ns^‑1至1 kV·ns^‑1的边缘陡度和500ns至100µs的脉冲宽度b，其中获得一种液相，以及b)从该液相中获得纯的六氯乙硅烷或Ge₂Cl₆。