发明名称 一种粘附载玻片的处理工艺
摘要 本发明公开了一种粘附载玻片的处理工艺,该处理工艺包括以下步骤:(1)准备未处理的洁净载玻片基材;(2)将放入沉积设备中的载玻片加热至设置温度,50~120℃;(3)将体系压力降至‑80~‑100KPa;(4)将预先配制好的氨基硅烷溶液注入蒸发设备中;(5)维持反应时间为5~40分钟,氨基硅烷溶液蒸发为氨基硅烷蒸汽,蒸汽与玻璃表面接触后自动吸附并沉积在载玻片上;(6)恢复体系压力至常压,取出载玻片。有益效果:本发明与现有传统技术相比利用成熟的化学气相沉积技术,操作过程简便、处理量大、成本低,可实现大规模稳定化的工业化生产。
申请公布号 CN104086090B 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201410199923.4 申请日期 2014.05.13
申请人 江苏世泰实验器材有限公司 发明人 王忠
分类号 C03C17/30(2006.01)I 主分类号 C03C17/30(2006.01)I
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人 查鑫利
主权项  一种粘附载玻片的处理工艺,其特征在于该处理工艺包括以下步骤:(1)准备未处理的洁净载玻片基材;(2)将放入沉积设备中的载玻片加热至设置温度,50~120℃;(3)将体系压力降至‑80~‑100KPa;(4)将预先配制好的氨基硅烷溶液注入蒸发设备中;(5)维持反应时间为5~40分钟,氨基硅烷溶液蒸发为氨基硅烷蒸汽,蒸汽与玻璃表面接触后自动吸附并沉积在载玻片上;(6)恢复体系压力至常压,取出载玻片。
地址 226100 江苏省南通市海门市海门镇新秀路48号