发明名称 |
板材镀膜设备 |
摘要 |
本发明涉及一种板材涂层加工设备,尤其是一种板材镀膜设备。包括壳体,壳体内部设有容置空间;第一收放卷,设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材;第二收放卷,设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上;靶材,分别设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜;壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。本发明形成一金属板材由第一收放卷到第二收放卷的运行路径,将靶材设于金属板材的运行路径的两侧进行磁控溅射镀膜,使得内部部件的结构紧凑,整机体积小巧,运行过程持续稳定可控,极大的提高了镀膜工艺的品质,加强了板材的吸热效果,提高了能量的转化效率。 |
申请公布号 |
CN103526167B |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201210234626.X |
申请日期 |
2012.07.06 |
申请人 |
杨宪杰 |
发明人 |
杨宪杰 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市国科知识产权代理事务所(普通合伙) 44296 |
代理人 |
陈永辉 |
主权项 |
一种板材镀膜设备,其特征在于,包括:壳体,壳体内部设有容置空间;第一收放卷,设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材;第二收放卷,设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上:靶材,设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜;壳体上对应于靶材的位置设置有舱门;在金属板材的运行路径上设有用于调节金属板材的张紧度的浮动辊,手动或自动控制浮动辊的位置实现对板料的纠偏;所述的壳体上设有传感器,通过传感器检测浮动辊的升降对收放卷的转速进行微调;第一收放卷和第二收放卷上各预装有一段金属板材,待镀膜板材两端分别和第一收放卷和第二收放卷上的预留板材连接,以实现对所有待镀膜板材的镀膜;所述的壳体内中部还设有用于减少壳体内无效空间的封闭舱,封闭舱两侧设有加热器;所述的壳体为立式壳体,所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方,所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊,所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置,所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中,金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。 |
地址 |
523007 广东省东莞市东城区旗峰路国泰大厦815室 |