检测设备的补偿方法

摘要

本发明公开一种检测设备的补偿方法，包括以下步骤：在检测设备的工作台上固定一光学标定板，该光学标定板具有XY方向交叉的标定标识中心；将工作台的运动方向和光学系统的运动方向在XY方向进行重合比对；将光学系统移动至光学标定板的一个标定标识中心位置点，将光学中心对准标定标识中心，设定该标定标定标识中心位置点为原点；识别标定标识中心到所述光学中心的偏差；针对所述偏差进行评估，补偿和点位较准。本发明通过校准和补偿算法来减少或消除直线运动带来的检测误差，提高了检测精度，解决了现有做法未能将平台以及光学系统的运动姿态误差考虑在标定内的问题。

主权项

一种检测设备的补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：在检测设备的工作台上固定一光学标定板，该光学标定板具有XY方向十字交叉的标定标识中心；将所述工作台的运动方向和光学系统的运动方向在XY方向进行重合比对；将所述光学系统移动至所述光学标定板的一个标定标识中心位置点，将光学中心对准标定标识中心，设定该标定标定标识中心位置点为原点；识别标定标识中心到所述光学中心的偏差；针对所述偏差进行评估，补偿和点位较准。