一种用于单晶炉的端盖

摘要

本实用新型涉及一种用于单晶炉的端盖，包括端盖主体和观察窗，所述的端盖主体内设置有密封腔体，所述的观察窗安装在端盖主体的中心处，所述观察窗两侧的端盖主体的底部分别设置有一个探照灯，所述端盖主体的底部设置有过流通道，所述的过流通道与密封腔体相连通，所述的过流通道内设置有过流阀，所述端盖主体的顶部设置有出气通道，所述的出气通道与密封腔体相连通，所述出气通道的出口处连接有气体过滤装置。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏。

主权项

一种用于单晶炉的端盖，其特征在于：包括端盖主体(1)和观察窗(2)，所述的端盖主体(1)内设置有密封腔体(5)，所述的观察窗(2)安装在端盖主体(1)的中心处，所述观察窗(2)两侧的端盖主体(1)的底部分别设置有一个探照灯(4)，所述端盖主体(1)的底部设置有过流通道(3)，所述的过流通道(3)与密封腔体(5)相连通，所述的过流通道内设置有过流阀(8)，所述端盖主体(1)的顶部设置有出气通道(6)，所述的出气通道(6)与密封腔体(5)相连通，所述出气通道(6)的出口处连接有气体过滤装置(7)。