用于生产合成石英玻璃颗粒的方法

摘要

通过将由多孔小粒制成的可流动的SiO₂粒料玻璃化而制造石英玻璃颗粒是在时间和成本上高耗费的。为了给出一种能够从多孔SiO2粒料出发连续且廉价地制造致密的合成石英玻璃颗粒的方法，根据本发明提出以下方法步骤：(a) 将热解生产的硅酸粒化，同时形成由多孔小粒（9）组成的SiO₂粒料，(b) 干燥该SiO₂粒料，(c) 通过在纯化炉中在含卤气氛中加热来纯化该SiO₂粒料，(d) 通过在玻璃化炉中烧结来将纯化后的SiO₂粒料玻璃化，同时形成该石英玻璃颗粒，其中该SiO₂粒料的干燥、纯化和玻璃化分别在一个旋转管炉中的一个围绕中轴线旋转的旋转管中进行，其中用于进行玻璃化的旋转管炉具有一个旋转管，该旋转管至少在其内壁的部分长度上由作为未掺杂的石英玻璃的、软化温度较高的陶瓷材料组成，并且其中该旋转管用贫氮的处理气体冲刷或者用该处理气体清洗，该处理气体包含至少30体积%的氦气和/或氢气。

主权项

用于通过将可流动的SiO₂粒料玻璃化来生产合成石英玻璃颗粒的方法，该方法包括以下方法步骤：(a) 将热解生产的硅石粒化，形成由多孔小粒（9）制成的SiO₂粒料，(b) 干燥该SiO₂粒料，(c) 通过在纯化炉中在含卤气氛中加热来纯化该SiO₂粒料，(d) 通过在玻璃化炉中烧结来将纯化后的SiO₂粒料玻璃化，形成石英玻璃颗粒，其中该SiO₂粒料的干燥、纯化和玻璃化分别在旋转管炉的围绕中轴线（7）旋转的旋转管中进行，其中用于进行玻璃化的旋转管炉具有旋转管（6），该旋转管至少在其内壁的部分长度上由与未掺杂的石英玻璃相比软化温度更高的陶瓷材料组成，该陶瓷材料，也即Al₂O₃，作为掺杂剂提高石英玻璃的黏度，且通过磨落而用作石英玻璃颗粒的掺杂剂来源，由此产生了在从1到20重量ppm范围内的对该石英玻璃颗粒的Al₂O₃掺杂，并且其中用于玻璃化的该旋转管（6）用贫氮的处理气体清洗，该处理气体包含至少30体积%的氦气和/或氢气。