一种干式微小颗粒分离装置

摘要

本发明提供了一种干式微小颗粒分离装置。其结构包括真空室，在真空室内水平设置有上下两个极板，上极板接地线，下极板连接射频电源的功率电极；在下极板上设置有颗粒分离器，所述颗粒分离器包括中间部位由若干内凹的棘齿依次邻接而构成的棘齿曲面槽以及两端的收集盒；在棘齿曲面槽的上方设置有用于盛放待分离颗粒的颗粒池；在真空室的外部设置有两个相对的半导体激光器，且每一个半导体激光器分别对应一个收集盒；在每个半导体激光器的前方均设有一个斩波器，在每个斩波器的前方均设有一个扩束镜。采用本发明分离两种不同尺寸的颗粒时操作简单、快速，无污染，为实验室及工业领域的快速分离提供了一个解决方案。

主权项

一种干式微小颗粒分离装置，其特征是，包括真空室，在所述真空室内水平设置有上极板和下极板，所述上极板接地线，所述下极板连接射频电源的功率电极，射频电源的另一电极接地线；在所述下极板上设置有颗粒分离器，所述颗粒分离器包括中间部位由若干内凹的棘齿依次邻接而构成的棘齿曲面槽以及两端的收集盒；在所述棘齿曲面槽的上方设置有用于盛放待分离颗粒的颗粒池，所述颗粒池连接穿出所述真空室的振动杆；在所述真空室的外部设置有两个相对的半导体激光器，且每一个半导体激光器分别对应所述颗粒分离器中的一个收集盒；在每一个半导体激光器的前方均设有一个斩波器，在每一个斩波器的前方均设有一个扩束镜。