发明名称 一种纳米多层透明导电薄膜
摘要 本发明提供了一种纳米多层透明导电薄膜。该纳米多层透明导电薄膜是在基底上沉积有至少一个双层,该双层包括一弱氧化铜(CuO<sub>x</sub>)层和在CuO<sub>x</sub>层上的与其接触的、连续的超薄银层。CuO<sub>x</sub>层中氧与铜原子百分比x为0<x≤20%;CuO<sub>x</sub>层厚度为0.5 nm~3 nm,银层厚度为2 nm~10 nm。与传统透明导电薄膜相比,该纳米多层结构透明导电薄膜具有高的光透过率、低的电阻率和表面粗糙度,用作太阳能电池、触摸屏等光电器件的透明电极可改善其性能,而且本发明中纳米多层透明导电薄膜制备时所需温度低,在室温下即可利用真空镀膜技术实现其高质量制备,便于利用卷绕式薄膜制备技术实现大面积低成本生产。
申请公布号 CN105925947A 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201610326065.4 申请日期 2016.05.17
申请人 河北大学 发明人 路万兵;于威;蒋树刚;杨彦斌;王春生;刘海旭;傅广生
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/35(2006.01)I
代理机构 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 代理人 胡素梅;苏艳肃
主权项 一种纳米多层透明导电薄膜,其特征是,包括基底、位于所述基底上的CuO<sub>x</sub>层及位于所述CuO<sub>x</sub>层上且与所述CuO<sub>x</sub>层相接触的Ag层;其中,0&lt;x≤20%。
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