一种研磨机气压伺服系统的压力控制方法

摘要

本发明公开了一种研磨机气压伺服系统的压力控制方法，采用3段加压减压的方式，使得开始时用较大的步进压力进行加压，快速达到压力上限值，然后用小一点的步进压力进行加压，减缓速度达到压力下限值，最后，采用最小的步进压力进行加压，慢慢匀速达到压力的设定值，这种加压方式，使得加压速度快，同时加压精度高，均匀性好，减少对工件的不平衡压力，提高成品率。

主权项

一种研磨机气压伺服系统的压力控制方法，所述研磨机气压伺服系统包括控制模块、压力采样模块、加压模块，所述控制模块包括控制器、AD转换器、DA转换器，所述加压模块包括气缸，所述压力采样模块包括压力传感器，所述控制器分别与AD转换器、DA转换器连接，所述AD转换器与压力传感器连接，DA转换器与气缸连接，所述压力传感器设置于研磨机主体的中心位置，所述气缸与研磨机的上研磨盘连接，所述压力传感器用于检测上研磨盘对工件的压力，所述控制器根据压力传感器检测的压力信号，输出控制信号控制气缸加压或减压，其特征在于：所述控制器根据预先设定的工序参数判断上研磨盘处于加压或减压过程，如果上研磨盘处于加压过程，依次执行步骤1至步骤6，如果上研磨盘处于减压过程，依次执行步骤1、步骤2、步骤a至步骤d：步骤1、压力传感器实时检测上研磨盘对工件的当前压力，并发送至控制器；步骤2、控制器根据预先设定的目标压力值及上研磨盘对工件的实时压力计算压力差值；步骤3、比较压力差值与预先设定的压力上限值，如果压力差值大于压力上限值，上研磨盘对工件的当前压力增加第一步进压力值，否则，执行步骤4；步骤4、比较压力差值与预先设定的压力下限值，如果压力差值大于压力下限值，上研磨盘对工件的当前压力增加第二步进压力值，否则，执行步骤5；步骤5、上研磨盘对工件的当前压力增加第三步进压力值；步骤6、重复执行步骤1至步骤6，直到上研磨盘对工件的当前压力达到预先设定的目标压力值，上研磨盘保持该目标压力值对工件加压；步骤a、比较压力差值与预先设定的压力下限值，如果压力差值小于压力下限值，上研磨盘对工件的当前压力减小第三步进压力值，否则，执行步骤b；步骤b、比较压力差值与预先设定的压力上限值，如果压力差值小于压力上限值，上研磨盘对工件的当前压力减小第二步进压力值，否则，执行步骤c；步骤c、上研磨盘对工件的当前压力减小第一步进压力值；步骤d、重复依次执行步骤1、步骤2、步骤a至步骤d，直到上研磨盘对工件的当前压力等于0，上研磨盘停止。