工件研磨方法及工件研磨装置

摘要

提供一种高精度地进行工件的研磨量的控制的工件研磨方法。一种工件研磨方法，将设置于载板（30）上的工件（20）用分别设置有研磨垫（60a、60b）的上平台（50a）和下平台（50b）夹住，其中工件（20）保持于在从载板（30）的中心离开的位置具有中心的保持孔（40）中，通过驱动机构使载板（30）旋转，并使上平台（50a）和下平台（50b）旋转，从而每当载板（30）旋转一周，上平台（50a）和下平台（50b）的中心与工件（20）的中心的距离周期性地变化，并对工件（20）的表面和背面同时研磨，其中，测量上述驱动机构、上平台（50a）和下平台（50b）的转矩中的至少一个转矩；基于由于上述距离的周期性变化而引起的转矩分量的振幅，来控制工件（20）的研磨量。

主权项

一种工件研磨方法，将工件用分别设置有研磨垫的上平台和下平台夹住，其中所述工件保持于保持孔中且所述工件相对于载板的中心偏心，所述保持孔设置于上述载板，通过驱动机构使上述载板旋转，并使上述上平台和下平台旋转，从而每当上述载板旋转一周，上述上平台和下平台的中心与上述工件的中心的距离周期性地变化，并利用上述研磨垫对上述工件的表面和背面同时研磨，其特征在于，测量上述驱动机构、上述上平台和下平台的转矩中的至少一个转矩；基于由于上述距离的周期性变化而引起的转矩分量的振幅、上述载板取特定的旋转角的时刻的上述转矩分量或上述载板取不同的特定的两个旋转角的时刻的上述转矩分量的差，来控制上述工件的研磨量。