发明名称 | 显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种显示器件(50)的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置,可以判定是能够在修理线中修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。显示器件的缺陷检测方法具备:对显示器件的每个局部区域计测特征量(P32),基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤(P36);在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P38、P42);在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下,计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤(P38);在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P40、P42)。 | ||
申请公布号 | CN103499588B | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
申请号 | CN201310364410.X | 申请日期 | 2008.09.26 |
申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 奈良圭;浜田智秀 |
分类号 | G01N21/892(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/892(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李洋;杨林森 |
主权项 | 一种缺陷检测方法,是由多个像素构成且被形成于挠曲性的薄片基板的显示器件的缺陷检测方法,其特征在于,具备:所述基板沿行方向被以给定速度输送的动作步骤,用沿列方向伸展的传感器计测所述显示器件的特征量,并且根据所述基板被输送的速度逐次更新所述特征量,由此对所述显示器件的被以行列区分的每个局部区域计测特征量,基于计测出的区域的特征量对被判定为缺陷区域的区域进行计数的缺陷计数步骤;当在所述缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下,停止所述显示器件的生产线的步骤;当在所述缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下,计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤;当在所述缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下,停止所述显示器件的生产线的步骤。 | ||
地址 | 日本东京都 |