| 发明名称 | 一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的三层腔体型端盖 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的三层腔体型端盖，三层腔体型端盖包括圆形端面、中腔体和下腔体；圆形端面的中心设有中心圆孔；中腔体的上对称分布有抽气孔台，所述抽气孔台呈圆台状；下腔体的中心设有抽气孔；圆形端面、中腔体和下腔体之间均通过插拔式固定连接，形成腔体。本发明能够很好的实现阻胶效果；可以在有效的阻胶的同时，减小基片的形变量，从而提高旋涂工艺性能指标。 | ||
| 申请公布号 | CN105921368A | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
| 申请号 | CN201610496119.1 | 申请日期 | 2016.06.29 |
| 申请人 | 南通大学 | 发明人 | 魏存露;王强;花国然;周海峰 |
| 分类号 | B05C11/08(2006.01)I | 主分类号 | B05C11/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 徐激波 |
| 主权项 | 一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的三层腔体型端盖，所述的三层腔体型端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，其特征在于：所述三层腔体型端盖包括圆形端面(1)和与所述圆形端面(1)相匹配的中腔体(2)和下腔体(3)；所述圆形端面(1)的中心设有中心圆孔(11)；所述中腔体(2)的上对称分布有抽气孔台(21)，所述抽气孔台(21)呈圆台状；所述下腔体(3)的中心设有抽气孔(31)；所述圆形端面(1)、中腔体(2)和下腔体(3)之间均通过插拔式固定连接，形成腔体。 | ||
| 地址 | 226000 江苏省南通市啬园路9号 | ||