| 发明名称 | 一种复合型ALD导气装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；同时，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。 | ||
| 申请公布号 | CN105925959A | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
| 申请号 | CN201610314085.X | 申请日期 | 2016.05.13 |
| 申请人 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 发明人 | 何丹农;尹桂林;金彩虹 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人 | 唐莉莎 |
| 主权项 | 一种复合型的ALD导气装置，其特征在于，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。 | ||
| 地址 | 200241 上海市闵行区江川东路28号 | ||