| 发明名称 | 一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例公开一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备。所述设备包括：石墨多孔气体入口及中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，其中，所述中路气体管道穿插通过所述主体内循环水套。本实用新型实施例通过充分冷却中路气体管道，使得待裂解气体的温度低于裂解温度，从而基本消除了中路气体管道管壁的沉积产物，也减少了待裂解气体入口处的沉积产物，能够适应高温条件下流化床化学气相沉积反应器的长期和稳定的运行。 | ||
| 申请公布号 | CN205556774U | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
| 申请号 | CN201620140257.1 | 申请日期 | 2016.02.24 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 刘马林;刘荣正;邵友林;常家兴;刘兵;唐亚平;张秉忠;杨冰;朱钧国 |
| 分类号 | C23C16/442(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/442(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述设备包括：中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，其中，所述中路气体管道穿插通过所述主体内循环水套。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 | ||