用于背照式图像传感器的装置和方法

摘要

一种背照式图像传感器包括位于第一衬底中的光电二极管以及第一晶体管，其中第一晶体管电连接至光电二极管。背照式图像传感器进一步包括形成在第二衬底中的多个逻辑电路，其中第二衬底堆叠在第一衬底上并且逻辑电路通过多个接合焊盘连接至第一晶体管。本发明还提供了用于背照式图像传感器的装置和方法。

主权项

一种用于制造半导体器件的方法，包括：提供第一晶圆，所述第一晶圆包括光有源区和连接至所述光有源区的图像传感器的第一晶体管；在所述第一晶圆的第一面上形成第一接合焊盘；提供第二晶圆，所述第二晶圆包括所述图像传感器的逻辑电路以及位于所述第二晶圆的第一面上的第二接合焊盘；将所述第一晶圆堆叠在所述第二晶圆上；以及接合所述第一晶圆和所述第二晶圆，其中：位于所述第一晶圆的第一面上的所述第一接合焊盘电连接至位于所述第二晶圆的第一面上的所述第二接合焊盘；并且所述图像传感器的所述第一晶体管电连接至所述图像传感器的所述逻辑电路；以及其中，所述第一接合焊盘和所述第二接合焊盘的直径大于相邻的图像传感器像素之间的间距，并且相邻的图像传感器像素的接合焊盘置于不同行中以形成交错的接合焊盘。