发明名称 | 一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶,包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰,过渡法兰外侧设置有安装法兰,安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件,其中,在波纹管内侧纵向设置一个进气管,所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中,在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔,所述倾斜气孔与进气管相通,所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:提供了一种磁路可以转动的旋转阴极,磁路方向转变时,靶原子轰击的方向相应改变,就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构,可以简化镀膜设备并节省设备空间。 | ||
申请公布号 | CN205556768U | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
申请号 | CN201620215908.9 | 申请日期 | 2016.03.21 |
申请人 | 上海福宜真空设备有限公司 | 发明人 | 杨元才;郑战伟;钱鹏亮;朱振东;林晨;周通;谭新 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶,包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰,过渡法兰外侧设置有安装法兰,安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件,其特征在于:在波纹管内侧纵向设置一个进气管,所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中,在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔,所述倾斜气孔与进气管相通,所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。 | ||
地址 | 201821 上海市嘉定区招贤路778号4幢 |