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发明名称
基板テーブル、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法
摘要
A substrate table comprising a base and a plurality of burls that project from the base, wherein an upper surface of the burls is provided with a multilayer coating.
申请公布号
JP5989673(B2)
申请公布日期
2016.09.07
申请号
JP20130550780
申请日期
2011.11.17
申请人
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
发明人
アルバート,ベンズリー;コンペン,レネ,セオドルス,ペトルス
分类号
G03F7/20;H01L21/683
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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