发明名称 |
一种无空洞透明玻壳与金属密封的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种无空洞透明玻壳与金属密封的方法,包括下列步骤:步骤一、选取内径为2.30‑2.50mm、外径为3.10‑3.50mm、高度为3.20‑3.70mm的玻壳;选取直径为2.20‑2.30mm、高度为2.20‑2.40mm的电极进行封装;步骤二、将二极管芯片的上下表面分别与圆柱形金属电极的圆形底面接触,步骤三、将包含有芯片的圆柱形金属电极放置于模具中;步骤四、将模具装配,并施加配重;步骤五、将模具放置在高温炉内,完成玻璃密封;本发明提高了与后续工序间的温度梯度,加强了对芯片的保护,无空洞密封进一步提高了产品的质量和可靠性。 |
申请公布号 |
CN103745935B |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201310703241.8 |
申请日期 |
2013.12.19 |
申请人 |
北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
发明人 |
吴鹏;木瑞强;练滨浩;姚全斌 |
分类号 |
H01L21/56(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 |
中国航天科技专利中心 11009 |
代理人 |
安丽 |
主权项 |
一种无空洞透明玻壳与金属密封的方法,其特征在于,包括下列步骤:步骤一、选取内径为2.30‑2.50mm、外径为3.10‑3.50mm、高度为3.20‑3.70mm的玻壳;选取直径为2.20‑2.30mm、高度为2.20‑2.40mm的电极进行封装;步骤二、将二极管芯片置于一个圆柱形金属电极之上,圆柱形金属电极采用钨或者钼作为基体材料;步骤三、将包含有芯片的圆柱形金属电极放置于模具中,之后将玻壳套装在已放置好一个电极的外侧,再放入另一个金属电极,使二极管芯片的上下表面分别与圆柱形金属电极的圆形底面接触;步骤四、将模具装配,并施加配重,将玻壳定位;步骤五、将模具放置在高温炉内,在气体压力为1个大气压力的氮气气氛条件下开始加热,升高模具温度到高于玻壳的软化温度50℃‑100℃的温度,升温速率控制在20‑60℃/min,封接温度保持时间控制在8‑15min,保持8‑15min后降温,降温速率控制在20‑60℃/min,待模具温度降低至室温后完成玻璃密封。 |
地址 |
100076 北京市丰台区东高地四营门北路2号 |