基于全息方法的自由曲面表面形貌在机检测方法及装置

摘要

本发明涉及一种基于全息方法的自由曲面表面形貌在机检测方法及装置。现有技术对自由曲面的精确、快速测量具有较大难度。本发明组成包括：检测装置（15），所述的检测装置包括基座A（2），所述的基座A上方孔内装有测头柄（1），所述的基座A通过滑道（10）与基座B（7）连接，所述的测头柄下方通过螺纹与激光器座（3）连接，所述的激光器座下端安装有激光器（4），所述的基座B内具有隔板（6），所述的隔板与空间光滤波器（5）连接，所述的基座B内下方分别通过卡座与分光镜（8）、反光镜（14）连接，检测方法通过采集曲面反射光光束波前畸变信息，得到所测的空间坐标信息。本发明基于全息方法的自由曲面表面形貌在机检测装置。

主权项

一种基于全息方法的自由曲面表面形貌在机检测装置，其组成包括：检测装置，其特征是：所述的检测装置包括基座A，所述的基座A上方孔内安装有测头柄，所述的基座A通过滑道与基座B连接，所述的测头柄下方通过螺纹与激光器座连接，所述的激光器座下端安装有激光器，所述的基座B内具有隔板，所述的隔板与空间光滤波器连接，所述的基座B内下方分别通过卡座与分光镜、反光镜连接。