用于玻璃溅射单元的冷却板机构

摘要

本发明公开了一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其中，所述冷却板机构包括冷却板、水箱和供水泵，所述冷却板为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管，每个所述冷却管的一端通过第一管道连通出水阀，另一端通过第二管道连通进水阀，所述出水阀、所述水箱、所述供水泵和所述进水阀通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀依次经过所述水箱和所述供水泵流至所述进水阀。解决了普通的冷却板机构冷却效率低、且冷却能耗高的问题。

主权项

一种用于玻璃溅射单元的冷却板机构，其特征在于，所述冷却板机构包括冷却板(2)、水箱(6)和供水泵(8)，所述冷却板(2)为双层结构，所述双层结构内设置有多个冷却管(3)，每个所述冷却管(3)的一端通过第一管道连通出水阀(4)，另一端通过第二管道连通进水阀(1)，所述出水阀(4)、所述水箱(6)、所述供水泵(8)和所述进水阀(1)通过水管顺次连通，使得冷却水可以从所述出水阀(4)依次经过所述水箱(6)和所述供水泵(8)流至所述进水阀(1)。