| 发明名称 | 包含含有包括磺酰胺官能团的重复单元的聚合物的顶涂层组合物，含有其的光刻胶组合物及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了用于光刻工艺的含有磺酰胺的组合物、顶涂层聚合物和添加剂聚合物，其相对于本领域已知的而言具有改善的静态后退水接触角。本发明的含有磺酰胺的顶涂层聚合物和添加剂聚合物包含如式(I)所示的具有支化的连接基团的磺酰胺取代的重复单元。<img file="DDA00002025763600011.GIF" wi="285" he="550" /> | ||
| 申请公布号 | CN102763039B | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
| 申请号 | CN201180010036.2 | 申请日期 | 2011.02.03 |
| 申请人 | 国际商业机器公司;中央硝子株式会社 | 发明人 | D·P·桑德斯;藤原昌生;照井贵阳 |
| 分类号 | G03F7/11(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/11(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 彭立兵;林柏楠 |
| 主权项 | 一种组合物，其包含含有根据式(I)的含有磺酰胺基团和支化的连接基团的重复单元的聚合物<img file="FDF0000000698790000011.GIF" wi="331" he="580" />其中：R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；R<sub>3</sub>选自氢、卤素、C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基和氟化C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基；R<sub>4</sub>选自氢、氟、C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基和氟化C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基；R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>独立地选自C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基和氟化C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基；R<sub>7</sub>为氟化C<sub>1</sub>‑C<sub>12</sub>烷基；和R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>至少之一包含碳。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||