发明名称 |
三维指向稳定系统 |
摘要 |
本发明属于光学微观测量技术领域,涉及一种三维指向稳定系统,激光器A后在水平光路上依次安装有棱镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第三分光棱镜、透镜、样品位移台;棱镜垂直向下分光的光路上安装有激光器B;第一分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统;第二分光棱镜垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统;第三分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统;本发明提供的三维指向稳定系统,在激光光源功率稳定的前提下,将共焦测量技术和四象限探测技术相融合,对比共焦响应曲线和四象限变化指向曲线,实现系统三维漂移监测与方向判断,有效避免了系统本身、空气扰动等环境干扰对测量精度的影响。 |
申请公布号 |
CN105928458A |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201610529947.0 |
申请日期 |
2016.07.06 |
申请人 |
中国科学院生物物理研究所 |
发明人 |
罗志勇;付彦辉;张祥;徐涛 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 |
代理人 |
董芙蓉 |
主权项 |
三维指向稳定系统,其特征在于,包括激光器A(1)、激光器B(3)、三维样品位移台(9)、激光功率稳定系统(22)、轴向测量系统(24)和垂轴测量系统(23);激光器A(1)后在水平光路上依次安装有棱镜(2)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(16)、第三分光棱镜(10)、透镜(8)、三维样品位移台(9);棱镜(2)垂直向下分光的光路上安装有激光器B(3);第一分光棱镜(4)垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统(22);第二分光棱镜(16)垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统(24);第三分光棱镜(10)垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统(23)。 |
地址 |
100101 北京市朝阳区大屯路十五号 |