发明名称 |
共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C人工晶体单色器 |
摘要 |
本实用新型涉及一种共溅射制备化合物Mo<sub>2</sub>C和化合物B<sub>4</sub>C作为材料组合的人工晶体X光单色器,该单色器包括基底,其上面依次层叠有打底层、共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体及保护层,其溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)由共溅射Mo<sub>2</sub>C膜(3)和B<sub>4</sub>C膜(4)周期性构成。本实用新型采用高熔点、相态稳定的共溅射化合物Mo<sub>2</sub>C作为多层膜人工晶体的吸收层,制作出共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体用作单色器,克服了单质与B<sub>4</sub>C等传统多层膜人工晶体的热稳定性差的缺点。同时,在X光波段的共溅射Mo<sub>2</sub>C的光学常数和Mo接近,共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体单色器保持了单质与B<sub>4</sub>C多层膜人工晶体较好的光学性能。因此,兼顾光学性能和热稳定性,适用于同步辐射光源、X光荧光分析等工作温度高的X光应用。 |
申请公布号 |
CN205562038U |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201620151163.4 |
申请日期 |
2016.02.29 |
申请人 |
苏州宏策光电科技有限公司 |
发明人 |
朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平 |
分类号 |
G01J3/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01J3/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京高航知识产权代理有限公司 11530 |
代理人 |
赵永强 |
主权项 |
一种共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C多层膜人工晶体单色器,其特征在于:该单色器包括基底(1),其上面依次层叠有打底层(2)、共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6),其中共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)由共溅射Mo<sub>2</sub>C膜(3)和B<sub>4</sub>C膜(4)周期性构成。 |
地址 |
215400 江苏省苏州市太仓市浏河镇紫薇路1号 |