发明名称 共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C人工晶体单色器
摘要 本实用新型涉及一种共溅射制备化合物Mo<sub>2</sub>C和化合物B<sub>4</sub>C作为材料组合的人工晶体X光单色器,该单色器包括基底,其上面依次层叠有打底层、共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体及保护层,其溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)由共溅射Mo<sub>2</sub>C膜(3)和B<sub>4</sub>C膜(4)周期性构成。本实用新型采用高熔点、相态稳定的共溅射化合物Mo<sub>2</sub>C作为多层膜人工晶体的吸收层,制作出共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体用作单色器,克服了单质与B<sub>4</sub>C等传统多层膜人工晶体的热稳定性差的缺点。同时,在X光波段的共溅射Mo<sub>2</sub>C的光学常数和Mo接近,共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体单色器保持了单质与B<sub>4</sub>C多层膜人工晶体较好的光学性能。因此,兼顾光学性能和热稳定性,适用于同步辐射光源、X光荧光分析等工作温度高的X光应用。
申请公布号 CN205562038U 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201620151163.4 申请日期 2016.02.29
申请人 苏州宏策光电科技有限公司 发明人 朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平
分类号 G01J3/26(2006.01)I 主分类号 G01J3/26(2006.01)I
代理机构 北京高航知识产权代理有限公司 11530 代理人 赵永强
主权项 一种共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C多层膜人工晶体单色器,其特征在于:该单色器包括基底(1),其上面依次层叠有打底层(2)、共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6),其中共溅射Mo<sub>2</sub>C/B<sub>4</sub>C周期多层膜人工晶体(5)由共溅射Mo<sub>2</sub>C膜(3)和B<sub>4</sub>C膜(4)周期性构成。
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