发明名称 |
一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰 |
摘要 |
本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度,延长密封垫圈的使用寿命,能凝结部分抽出气体中的挥发物,降低挥发物对真空泵的性能和寿命的影响的有益效果。 |
申请公布号 |
CN205556855U |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201620231887.X |
申请日期 |
2016.03.24 |
申请人 |
独山晶科光电信息材料有限公司 |
发明人 |
高佑君;李志强;代小波;王光明 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 |
代理人 |
郭防;韩炜 |
主权项 |
一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,其特征在于:包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。 |
地址 |
558200 贵州省黔南布依族苗族自治州独山县独山经济开发区 |