发明名称 一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰
摘要 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度,延长密封垫圈的使用寿命,能凝结部分抽出气体中的挥发物,降低挥发物对真空泵的性能和寿命的影响的有益效果。
申请公布号 CN205556855U 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201620231887.X 申请日期 2016.03.24
申请人 独山晶科光电信息材料有限公司 发明人 高佑君;李志强;代小波;王光明
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/20(2006.01)I
代理机构 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 代理人 郭防;韩炜
主权项 一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,其特征在于:包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。
地址 558200 贵州省黔南布依族苗族自治州独山县独山经济开发区