发明名称 | 一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法,该方法包括:使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照,得到具有特定波纹状表面微结构图案;再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为:激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性,能在一定范围内对其发光光谱进行调制,实现接近太阳光的白光发光;采用编程语言及脚本语言,如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径,实现任意指定图案的激光直写,控制制备白光发光图案的形状;使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位,且扫描速度可达2000mm/s,便于进行批量、大面积的加工。 | ||
申请公布号 | CN105931953A | 申请公布日期 | 2016.09.07 |
申请号 | CN201610312525.8 | 申请日期 | 2016.05.11 |
申请人 | 北京工业大学 | 发明人 | 季凌飞;王思聪;吴燕;胡莉婷;闫胤洲;蒋毅坚 |
分类号 | H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
代理机构 | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人 | 陈圣清 |
主权项 | 一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法,其特征在于,该方法包括:步骤101:使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照,得到具有特定波纹状表面微结构图案;步骤102:再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。 | ||
地址 | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 |