| 摘要 |
본 발명에 따른 액정 폴리머 기반의 신경 임플란트용 전극 어레이 제조 방법은, 액정 폴리머 기판 상에 시드층을 형성하는 과정과, 상기 시드층의 상부 일부를 선택적으로 노출시키는 패턴을 갖는 도금 몰드를 형성하는 과정과, 상기 도금 몰드를 도금 장벽층으로 하여 노출된 시드층 상에 전극 물질을 도금하는 과정과, 상기 도금 몰드와 그 하부의 시드층을 제거하여 전극을 형성하는 과정과, 상기 전극 상에 액정 폴리머 커버층을 압착하여 상기 전극을 매립시키는 과정과, 상기 액정 폴리머 커버층의 일부를 선택 제거함으로써 상기 전극의 상부를 노출시키는 전극 사이트를 형성하는 과정을 포함할 수 있다. |
