图案检查装置及图案检查方法

摘要

本发明提供一种图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置包括孔部信息获取部，获取表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，确定与形成有目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以目视焊盘为起点而延伸的线方向；判别点获取部，将检查图像中，作为目视孔部区域的边缘、且包含于配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自目视孔部区域的中心向线方向延伸的线与目视孔部区域的边缘相交的位置的、对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，检测目视孔部所致的颈部缺陷。藉此，可容易地检测印刷基板的颈部缺陷。

主权项

一种图案检查装置，其为印刷基板的图案检查装置，其特征在于包括：孔部信息获取部，获取对形成有包含焊盘与线的配线图案以及孔部的印刷基板进行拍摄所得的检查图像中，表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标；线方向确定部，基于表示所述配线图案的参照图案数据、或所述检查图像，确定与形成有所述目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以所述目视焊盘为起点而延伸的方向、即线方向；判别点获取部，将所述检查图像中，作为所述目视孔部区域的边缘、且包含于表示所述配线图案的配线图案区域中的部分设为对象边缘，并获取最靠近自所述目视孔部区域的所述中心向所述线方向延伸的线与所述目视孔部区域的所述边缘相交的位置的、所述对象边缘上的点而作为判别点；及颈部缺陷检测部，当所述判别点位于表示所述目视焊盘的目视焊盘区域外时、或位于表示所述目视线的目视线区域内时，检测所述目视孔部所致的颈部缺陷。