发明名称 |
电镀装置及收容槽 |
摘要 |
本发明提供一种比以往构造更简易,可提高镀层厚度均匀性的电镀装置及收容槽。电镀装置(M)具备收容电镀液(F)的电镀槽(10);配置在电镀槽(10)内部的阳极构件(20);在电镀槽(10)内部,与阳极构件(20)对置的被电镀物(W);接触被电镀物(W)的阴极夹具(30);形成于阳极构件(20)与被电镀物(W)之间,作为电镀液(F)从电镀槽(10)流入的流路的空间(40)。电镀液(F)从空间(40)的上方流入,由泵(50)从空间(40)下方吸引。 |
申请公布号 |
CN105917033A |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
CN201580004879.X |
申请日期 |
2015.04.16 |
申请人 |
株式会社山本镀金试验器;清川电镀工业株式会社 |
发明人 |
山本渡;原田文男;清川肇 |
分类号 |
C25D5/08(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I |
主分类号 |
C25D5/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
董科 |
主权项 |
一种电镀装置,具备:收容电镀液的电镀槽;配置在所述电镀槽内部的阳极构件;在所述电镀槽内部与所述阳极构件对置配置的被电镀物;接触所述被电镀物的阳极构件;以及形成于所述阳极构件与所述被电镀物之间,作为所述电镀液从所述电镀槽流入的通路的空间,其特征在于,所述电镀液从所述空间的上方流入,且由泵从所述空间的下方吸出。 |
地址 |
日本东京涉谷区千驮谷5丁目28番1号 |