磁盘用玻璃基板的制造方法以及磁盘用玻璃基板

摘要

本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法以及磁盘用玻璃基板，提供能够高效地制造具有良好表面凸凹精度及耐冲击性的磁盘用玻璃基板的方法，该方法具有：加压成形工序，制作具有主表面的粗糙度为0.01μm以下、且作为磁盘用玻璃基板的目标平坦度的平坦度的板状玻璃材料；化学强化工序，制造至少在板状玻璃材料的主表面形成压缩应力层的玻璃基板；及主表面研磨工序，在玻璃基板的主表面加压研磨垫，一边在玻璃基板与研磨垫之间供给包含研磨材料的研磨液，一边使玻璃基板和研磨垫相对移动，以研磨玻璃基板的主表面。而且，将在加压成形工序中制作的板状玻璃材料的厚度设定为相对于作为磁盘用玻璃基板的目标厚度，厚主表面研磨工序产生的研磨量厚度。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，该基板具有一对主表面，其特征在于，具有如下工序：加压成形工序，通过加压成形而制作板状玻璃材料，所述板状玻璃材料的所述主表面的粗糙度为0.01μm以下、并且具有4μm以下的平坦度，所述加压成形工序具有：使熔融玻璃的块落下的工序，和用从所述块的落下路径两侧相对而置、并设定为大致相同温度的一对模具面在大致相同的时间接触而夹住所述块并加压成形的工序；化学强化工序，制作盘状基板，所述盘状基板通过浸渍于含有碱金属离子的化学强化盐中而至少在所述板状玻璃材料的主表面形成压缩应力层；及主表面研磨工序，在所述盘状基板的主表面加压由聚氨酯垫构成的研磨垫，一边在所述盘状基板与所述研磨垫之间供给包含研磨材料的研磨液，一边使所述盘状基板和所述研磨垫通过行星齿轮运动相对移动，以研磨所述盘状基板的主表面，所述研磨材料包含氧化铈磨粒或硅胶磨粒的至少一种，将在所述加压成形工序中制作的板状玻璃材料的厚度设定为，相对于作为磁盘用玻璃基板的目标厚度，厚所述主表面研磨工序产生的研磨量的厚度。