加热装置及等离子体加工设备

摘要

一种加热装置及等离子体加工设备，其用于加热承载有被加工工件的托盘，其包括支撑底座、支撑柱和加热单元，其中，加热单元设置在支撑底座的上方；支撑柱与支撑底座固定连接，并且支撑柱的顶端高于加热单元的顶端，用以支撑所述托盘；加热单元包括采用热辐射的方式朝向托盘辐射热量的发热元件，发热元件包括螺旋状辐射体，螺旋状辐射体围绕托盘的中心线且沿所述托盘的径向均匀缠绕，并且螺旋状辐射体具有靠近托盘的中心线的第一接线端和靠近托盘的边缘的第二接线端。本发明提供的加热装置不仅结构简单，而且可以提高加热装置的加热均匀性，从而可以提高产品质量。

主权项

一种加热装置，用于加热承载有被加工工件的托盘，其包括支撑底座、支撑柱和加热单元，其中，所述加热单元设置在所述支撑底座的上方；所述支撑柱与所述支撑底座固定连接，并且所述支撑柱的顶端高于所述加热单元的顶端，用以支撑所述托盘；所述加热单元包括采用热辐射的方式朝向所述托盘辐射热量的发热元件，其特征在于，所述发热元件包括螺旋状辐射体，所述螺旋状辐射体围绕所述托盘的中心线且沿所述托盘的径向均匀缠绕，并且所述螺旋状辐射体具有靠近所述托盘的中心线的第一接线端和靠近所述托盘的边缘的第二接线端；在所述支撑底座的下方设置有升降装置，所述升降装置包括基座、升降驱动机构、密封件以及冷却水管路，其中所述基座与所述支撑底座连接，所述升降驱动机构与所述基座连接，在所述升降驱动机构的驱动下，所述基座带动所述支撑底座上升或下降；所述密封件设置于所述基座与支撑底座之间，用以将所述基座与支撑底座之间的缝隙密封；在所述基座的上表面且紧靠所述密封件的内侧或外侧设置有凹槽，或者，在所述支撑底座的下表面且紧靠所述密封件的内侧或外侧设置有凹槽，所述冷却水管路设置于所述凹槽内部，在所述冷却水管路内通入冷却水以冷却所述密封件。