一种基于蚀刻衍射光栅的成像光谱仪

摘要

本实用新型公开了一种基于蚀刻衍射光栅的成像光谱仪。包括推扫式扫描的成像系统和主要集成有第一分光系统或者第二分光系统的集成芯片基板，输入光经成像系统成像为空间光后，空间光经第一分光系统分光输出，或者空间光依次经数字微镜阵列光开关、柱面镜处理聚焦后再经第二分光系统分光输出。本实用新型极大减轻了成像光谱仪的重量和体积，具有高集成度，增强了系统的稳定性，具有大范围光谱和较好的系统功能扩展性，可用于小型无人机的遥感探测。

主权项

一种基于蚀刻衍射光栅的成像光谱仪，其特征在于：包括推扫式扫描的成像系统(1)和主要集成有第一分光系统的集成芯片基板(2)，输入光经成像系统(1)成像为空间光后，输入集成芯片基板(2)的第一分光系统中经分光处理输出为对应于各个不同像素入射信号光下的不同波长信号光。