薄膜高分子层积薄膜电容器的制造方法以及薄膜高分子层积薄膜电容器

摘要

一种薄膜高分子层积薄膜电容器的制造方法，包含层积体制造工序，该层积体制造工序是在真空室内，通过在转鼓上交替地重复进行对单体进行蒸镀形成单体层后向该单体层照射电子束使得所述单体层硬化从而形成树脂薄膜层的树脂薄膜层形成工序、以及对金属材料进行蒸镀从而形成金属薄膜层的金属薄膜层形成工序，从而在转鼓上制造由树脂薄膜层与金属薄膜层交替层积而成的层积体。在树脂薄膜层形成工序中，使用具有以如下化学式(1)表示的脂环烃结构的二甲基丙烯酸化合物作为单体从而形成单体层。【式1】而在化学式(1)中，符号A表示含有脂环烃的有机基团。根据本发明，能够将所得到的树脂薄膜层的硬化度充分地提高，因此，能够制造具有所需性能的薄膜高分子层积薄膜电容器。

主权项

一种薄膜高分子层积薄膜电容器的制造方法，包含层积体制造工序，该层积体制造工序是在真空室内，通过在转鼓上交替地重复进行对单体进行蒸镀形成单体层后向该单体层照射电子束使得所述单体层硬化从而形成树脂薄膜层的树脂薄膜层形成工序、以及对金属材料进行蒸镀从而形成金属薄膜层的金属薄膜层形成工序，从而在所述转鼓上制造由所述树脂薄膜层与所述金属薄膜层交替层积而成的层积体，其特征在于：其中，在所述树脂薄膜层形成工序中，采用具有由下述化学式(1)表示的脂环烃结构的二甲基丙烯酸化合物作为单体从而形成单体层。【化合物1】而在化学式(1)中，符号A表示含有脂环烃的有机基团。