一种晶圆及太阳能电池的光致载流子辐射锁相成像检测方法与系统

摘要

本发明公开了一种晶圆及太阳能电池的光致载流子辐射锁相成像检测方法与系统，所述系统包括近红外相机、信号采集卡、计算机、三维移动台、长通滤波片、第一激光器和第二激光器，被测样件固定在三维移动台上，调节三维移动台使被测样件在近红外相机视野内清晰可见；计算机通过控制信号采集卡控制激光器对被测样件进行光激励，同时控制近红外相机进行同步触发采集图像序列；近红外相机采集的图像序列传送至计算机进行锁相处理，进而实现高信噪比的载流子辐射信号成像。本发明激光采用面激励方式激发样件，探测面积大、检测效率高；采用锁相算法，可以提高信噪比，在自然光背景下仍然可以得到良好检测结果，无需暗室环境，检测方便。

主权项

一种晶圆和太阳能电池的光致载流子辐射锁相成像检测系统，其特征在于所述检测系统包括近红外相机、信号采集卡、计算机、三维移动台、长通滤波片、第一激光器和第二激光器，其中：被测样件固定在三维移动台上，调节三维移动台使被测样件在近红外相机视野内清晰可见；计算机控制信号采集卡产生调制信号，该信号一方面控制第一激光器和第二激光器同步触发并对被测样件进行光激励，两束激光束照射到被测样件后产生载流子辐射光子信号；另一方面控制近红外相机对载流子辐射光子信号产生的图像序列进行同步采集，被被测样件反射的激光束和环境噪声信号被长通滤波片滤掉；近红外相机将采集的图像序列反馈至计算机，计算机将采集到的图像序列进行锁相相关处理进而对载流子辐射信号进行检测。