用于半导体集成电路器件的功能数字测试的自动测试设备

摘要

一种用于测试多个半导体集成电路器件的数字功能的自动测试设备，所述多个半导体集成电路器件同时连接到该设备，该设备生成适于测试至少一个器件的数据模式。数据模式的激励测试信号被复制并被分布到器件。器件对测试信号的期望响应信息也被复制并被分布到比较器，以将器件的实际响应与期望响应相比较。

主权项

一种用于半导体集成电路器件的功能数字测试的自动测试设备，包括用于将存储的指令动态转换为适于测试至少一个所述半导体集成电路器件的数据模式的装置，用于电气分布所述数据模式以复制用于多个所述半导体集成电路器件的激励测试信号的装置，用于施加所述激励测试信号至所述多个半导体集成电路器件的装置，用于电气分布所述数据模式以复制所述多个半导体集成电路器件的期望响应的装置，用于将所述期望响应与所述多个半导体集成电路器件的实际响应相比较的装置。