发明名称 |
一种真空吸附平台 |
摘要 |
本实用新型提供一种真空吸附平台,包括真空吸盘和底座,真空吸盘与底座能够形成真空腔,所述真空吸盘包括第一吸盘、第二吸盘和隔膜,第二吸盘邻近所述真空腔;第一吸盘上设置多个第一吸盘孔,第二吸盘上设置多个第二吸盘孔,所述第一吸盘孔、第二吸盘孔和真空腔相连通;隔膜设置于第一吸盘和第二吸盘之间,并隔离所述第一吸盘孔与第二吸盘孔,可以避免真空吸盘上放置基板之外的区域破真空,在吸附异形基板时,不但不会出现盲区,吸附效果得到保证,而且无需额外覆盖吸附区域之外的区域,使用方便,能够大幅提高基板运载作业效率。 |
申请公布号 |
CN205521462U |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
CN201620157351.8 |
申请日期 |
2016.03.01 |
申请人 |
合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
蒋展望;王小文;郭海兵;刘川;李银海;金磊 |
分类号 |
B25J15/06(2006.01)I;B65G47/91(2006.01)I |
主分类号 |
B25J15/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
刘悦晗;陈源 |
主权项 |
一种真空吸附平台,包括真空吸盘和底座,真空吸盘与底座能够形成真空腔,其特征在于,所述真空吸盘包括第一吸盘、第二吸盘和隔膜,第二吸盘邻近所述真空腔;第一吸盘上设置多个第一吸盘孔,第二吸盘上设置多个第二吸盘孔,所述第一吸盘孔、第二吸盘孔和真空腔相连通;隔膜设置于第一吸盘和第二吸盘之间,并隔离所述第一吸盘孔与第二吸盘孔。 |
地址 |
230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 |