| 发明名称 | 一种平板抽屉式光罩储存柜 | ||
| 摘要 | 一种平板抽屉式光罩储存柜，包括：储存柜本体，围闭形成由各储存单元构成的储存空间；抽屉栏位，活动设置在各储存单元内，并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。本实用新型平板抽屉式光罩储存柜通过设置独立的储存单元，并在储存单元内活动设置具有隔断板的抽屉栏位，且在所述抽屉栏位之外侧的信息录入栏位内记载光罩储存信息，不仅利于光罩之储存，保证储存质量，提高工作效率，而且储存容量大，管理规范，值得推广使用。 | ||
| 申请公布号 | CN205542728U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620146367.9 | 申请日期 | 2016.02.26 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 金卫;许青峰;朱骏;吕煜坤 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种平板抽屉式光罩储存柜，其特征在于，所述平板抽屉式光罩储存柜，包括：储存柜本体，围闭形成由各储存单元构成的储存空间；抽屉栏位，活动设置在各储存单元内，并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||