一种高比容电容负极箔及其制备的镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种高比容电容负极箔，具有铝箔，所述铝箔的表面溅射有氮化钛层，氮化钛层的表面溅射有氮化钛和石墨的混合层。本实用新型的高比容电容负极箔，实验测试表明：氮化钛层与铝箔表面结合牢固，氮化钛和石墨的混合层与氮化钛层结合牢固，在作为负极箔时，同比电容量达到铝箔的数倍、高于碳箔，具有比铝箔更低的阻抗和损耗，尤其适合制作固态电容器和大容量电解电容器，具有体积小、寿命长、热稳定性好的特点。本实用新型同时还公开了制备该高比容电容负极箔的镀膜装置，主要包括真空放卷室、第一真空镀膜室、第二真空镀膜室和真空收卷室，本镀膜装置从放卷到收卷可以实现连续镀膜，镀膜速度快、生产效率高。

主权项

一种高比容电容负极箔，具有铝箔（1），其特征在于：所述铝箔（1）的表面溅射有氮化钛层（2），氮化钛层（2）的表面溅射有氮化钛和石墨的混合层（3）。