一种冷泵再生的控制方法和系统

摘要

本发明实施例提供了一种冷泵再生的控制方法，所述冷泵与系统干泵相连，所述方法，包括以下步骤：接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；当获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据再生指令执行再生；当所述等待再生的冷泵完成再生后，释放所述系统干泵的使用权。本发明通过设定系统干泵为共享资源来进行管理、协调冷泵执行再生操作，实现了冷泵再生时的设备的自动化管理与协调，避免因误操作而引发的气体倒灌问题。

主权项

一种冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述冷泵与系统干泵相连，所述方法，包括以下步骤：接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；当获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生启动指令执行再生；当所述等待再生的冷泵完成再生后，释放所述系统干泵的使用权。