| 发明名称 | 光学位置测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光学位置测量装置，其用于探测相对彼此运动的两个物体的位置。光学位置测量装置包括与两个物体中的一个相连接的量具，并且具有测量刻度，其带有沿着至少一个第一刻度方向周期性地布置的刻度区域。位置测量装置还包括具有多个光学元件的扫描单元，其相对于量具可运动地布置。通过布置和构造扫描单元的光学元件引起扫描光路，在其中形成干涉的子光束关于对称平面镜像对称地传播并且或者V形地射到量具上和/或通过量具经历V形的背向反射。对称平面以限定的倾斜角围绕转动轴线倾斜，其平行于量具的表面定向并且垂直于第一刻度方向延伸。 | ||
| 申请公布号 | CN105910533A | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201610097949.7 | 申请日期 | 2016.02.23 |
| 申请人 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 发明人 | W.霍尔扎普费尔 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 吴晟;刘春元 |
| 主权项 | 一种用于探测相对彼此运动的两个物体的位置的光学位置测量装置，具有‑量具，其与两个物体中的一个相连接并且包括测量刻度，该测量刻度具有沿着至少一个第一刻度方向(x)周期性地布置的刻度区域，以及‑扫描单元，其具有多个光学元件，该扫描单元相对于量具可运动地布置，其中，通过布置和构造扫描单元的光学元件引起扫描光路，在其中形成干涉的子光束关于对称平面镜像对称地传播并且或者V形地射到量具上和/或通过量具经历V形的背向反射，其特征在于，对称平面(SE)以限定的倾斜角(α)围绕转动轴线倾斜，其平行于量具(10'；110'；210'；310'；410')的表面定向并且垂直于第一刻度方向(x)延伸。 | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||