一种半封闭研磨液喷射装置

摘要

为解决蓝宝石衬底DMP加工过程中，金刚石研磨液喷射不均匀以及浪费问题，本实用新型提供一种半封闭研磨液喷射装置，属于蓝宝石衬底加工技术设备领域，包括研磨液储罐和研磨液管，研磨液管下端设置于研磨液储罐内，上端设置于研磨液储罐外，还包括气压管，所述气压管一端设置于研磨液储罐内，另一端与高压气连通。所述研磨液管上端端口设置一开口向外的半封闭罩。本实用新型通过设置气压管，并在研磨液管上端端口设置半封闭罩，结合滴液法和喷液法的优点，完全改变了现有技术中滴液法浪费研磨液和喷液法喷液效率低、喷液不均匀的问题。本实用新型有效控制研磨液喷洒区域，提高了研磨液喷洒均匀性，减少研磨液浪费，达到了提高质量、降低成本的目的。

主权项

一种半封闭研磨液喷射装置，包括研磨液储罐（1）和研磨液管（2），研磨液管（2）下端设置于研磨液储罐（1）内，上端设置于研磨液储罐（1）外，其特征在于：还包括气压管（3），所述气压管（3）一端设置于研磨液储罐（1）内，另一端与高压气连通。