| 发明名称 | 激光直写倾斜双面曝光装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种激光直写倾斜双面曝光装置，包括底座（4）和曝光装置（2），曝光装置（2）有两组，均倾斜设置在底座（4）的上表面，在两组曝光装置（2）的中间位于底座（4）上表面设置滑移座（5），曝光装置（2）为多棱镜集成组件，多棱镜集成组件上设置多棱镜投影光路（1）。有益效果是：能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，增加了工作的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205539921U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620059992.X | 申请日期 | 2016.01.22 |
| 申请人 | 江苏影速光电技术有限公司 | 发明人 | 徐巍;赵华;张伟;王翰文;马汝治 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人 | 周爱芳 |
| 主权项 | 一种激光直写倾斜双面曝光装置，其特征在于，包括底座（4）和曝光装置（2），曝光装置（2）有两组，均倾斜设置在底座（4）的上表面，在两组曝光装置（2）的中间位于底座（4）上表面设置滑移座（5），曝光装置（2）为多棱镜集成组件，多棱镜集成组件上设置多棱镜投影光路（1）。 | ||
| 地址 | 221000 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路 | ||