基板处理系统、基板搬送方法、程序和计算机存储介质

摘要

本发明使基板处理系统的覆盖区域变小。本发明的基板处理系统（1）包括：处理站（3），其在上下方向上多层地设置有多个处理单元；盒式部件载置台（12），其载置收容多个晶片（W）的盒式部件；和配置在处理站（3）和盒式部件载置台（12）之间的晶片搬送机构（21），在该基板处理系统（1）中，在处理站（3）和晶片搬送机构（21）之间，配置有多层地设置有多个交接单元而构成的交接块（22），该多个交接单元暂时收容在盒式部件载置台（12）和处理站（3）之间被搬送的晶片和在各处理单元的各层之间被搬送的基板。晶片搬送机构（21）包括：在盒式部件载置台（12）和交接块（22）之间搬送晶片的第一搬送臂；和在交接单元的各层之间搬送晶片的第二搬送臂。

主权项

一种基板处理系统，包括：处理站，其在上下方向上多层地设置有处理基板的多个处理单元；盒式部件载置部，其载置收容多个基板的盒式部件；和配置在所述处理站与所述盒式部件载置部之间的基板搬送机构，该基板处理系统的特征在于：在所述处理站和所述基板搬送机构之间，多层地设置有多个交接单元，该多个交接单元暂时收容在所述盒式部件载置部与所述处理站之间被搬送的基板以及在所述处理单元的各层之间被搬送的基板，在所述盒式部件载置部与所述交接单元之间，设置有多个所述基板搬送机构，各所述基板搬送机构包括：在所述盒式部件载置部与各所述交接单元之间搬送基板的第一搬送臂；和在各所述交接单元的各层之间搬送基板的第二搬送臂。