| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DESIGN OF A METROLOGY TARGET |
| 摘要 |
메트롤로지 타겟 디자인의 방법이 개시된다. 상기 방법은 메트롤로지 타겟의 디자인 파라미터에 대한 복수의 값들 또는 범위를 제공하는 단계, 및 프로세서에 의해, 메트롤로지 타겟의 디자인 파라미터에 대한 제약을 충족시키는 하나 이상의 디자인 파라미터들을 갖는 복수의 메트롤로지 타겟 디자인들을, 디자인 파라미터들에 대한 복수의 값들 또는 범위 내에서 샘플링 및/또는 해결함으로써 선택하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160103133(A) |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
| 申请号 |
KR20167021018 |
申请日期 |
2014.12.04 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
CHEN GUANGQING;GHAN JUSTIN;WHYSONG DAVID HAROLD |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;G06F17/50 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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