半导体生产过程中的抽样量测方法

摘要

本发明公开了一种半导体生产过程中的抽样量测方法，包括：将前序生产工序机台出货的多个批次lot的WIP根据到达量测站点的时间和Wafer数量组成抽样组；在抽样组中选择到达量测站点时间最早的lot进行量测；当所选择lot的量测结果合格时，判定该抽样组合格；当所选择lot的量测结果不合格时，将该抽样组中未被量测的lot和随后到达量测站点的lot根据到达量测站点的时间和Wafer数量组成新的抽样组，并重新在新的抽样组中选择到达量测站点时间最早的lot进行量测，以确定新的抽样组是否合格。本发明可有效的提高半导体生产过程中的量测效率，缩短半导体的生产周期；利用量测结果监控机台的工作状态，可及时发现生产问题，保证生产线的稳定运行，提高产品的生产效率。

主权项

一种半导体生产过程中的抽样量测方法，其特征在于，包括：将前序生产工序机台出货的至少1个批次lot的在制品WIP根据到达量测站点的时间和晶圆Wafer数量组成抽样组；在所述抽样组中选择到达量测站点时间最早的一个lot进行量测；当所选择lot的量测结果合格时，判定该lot所属的抽样组合格，以使该合格的抽样组进入后续生产工序；当所选择lot的量测结果不合格时，将该lot所属的抽样组中未被量测的lot和随后到达量测站点的lot根据到达量测站点的时间和Wafer数量组成新的抽样组，并重新在新的抽样组中选择到达量测站点时间最早的一个lot进行量测，以确定新的抽样组是否合格；其中，将前序生产工序机台出货的至少1个lot的WIP根据到达量测站点的时间和Wafer数量组成抽样组，包括：设置一时间段参数和一Wafer数量参数；记录到达量测站点的每批lot的时间，并记录每批lot中所含Wafer的数量，将到达量测站点的lot按照到达量测站点的时间排序；从所排序的第一批lot的出货时间开始，当在所述时间段参数所规定的时间段结束，并且在该时间段内到达量测站点的所有lot所含Wafer的数量总数未超过所述Wafer数量参数时，将该时间段内到达量测站点的所有lot组成一个抽样组；从所排序的第一批lot的出货时间开始，当在所述时间段参数所规定的时间段未结束，并且在该未结束的时间段内已到达量测站点的所有lot所含Wafer的数量超过了所述Wafer数量参数时，将该未结束的时间段内到达量测站点的所有lot的Wafer数量按照到达量测站点时间的先后顺序相加，将相加后未超过Wafer数量参数的最大数量的lot组成一个抽样组。