| 发明名称 | 具备原料浓度检测结构的原料气化供给装置 | ||
| 摘要 | 本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料，与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度，实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气G<sub>K</sub>，由来源罐5内释放载气G<sub>K</sub>，与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气G<sub>K</sub>的混合气体G<sub>S</sub>供给至处理室的原料气化供给装置，其中，在来自于上述来源罐5的混合气体G<sub>S</sub>的流出通路上设置自动压力调整装置8，与此同时在其下游侧设置质量流量计9，通过开闭控制上述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P<sub>0</sub>控制为规定值，将由上述质量流量控制器3所致的载气G<sub>K</sub>的流量Q<sub>1</sub>、上述罐内压力P<sub>0</sub>和上述质量流量计9的混合气体G<sub>S</sub>的流量Q<sub>S</sub>的各自检测值输入原料浓度运算部10，在该原料浓度运算部10按Q<sub>2</sub>=Q<sub>S</sub>×P<sub>M0</sub>/P<sub>0</sub>运算原料流量Q<sub>2</sub>(其中，P<sub>M0</sub>为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压)，利用该原料流量Q<sub>2</sub>按K=Q<sub>2</sub>/Q<sub>S</sub>运算、显示供给至上述处理室的混合气体G<sub>S</sub>的原料气体蒸气浓度K。 | ||
| 申请公布号 | CN103797563B | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201280043162.2 | 申请日期 | 2012.07.17 |
| 申请人 | 株式会社富士金 | 发明人 | 永瀬正明;平田薰;日高敦志;西野功二;池田信一;中村刚 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 孔青;孟慧岚 |
| 主权项 | 具备原料浓度检测结构的原料气化供给装置，其特征在于，为如下结构：在通过质量流量控制器(3)向来源罐(5)内供给载气(G<sub>K</sub>)，由来源罐(5)内释放载气(G<sub>K</sub>)，与此同时将通过恒温部(6)使来源罐(5)保持恒定温度而产生的原料(4)的原料气体(G)的饱和蒸气与所述载气(G<sub>K</sub>)的混合气体(G<sub>S</sub>)供给至处理室的原料气化供给装置中，在来自于所述来源罐(5)的混合气体(G<sub>S</sub>)的流出通路上设置自动压力调整装置(8)和质量流量计(9)，通过开闭控制所述自动压力调整装置(8)的控制阀(8a)，将来源罐(5)的内部压力P<sub>0</sub>控制为规定值，将由所述质量流量控制器(3)所致的载气(G<sub>K</sub>)的流量Q<sub>1</sub>、所述内部压力P<sub>0</sub>和所述质量流量计(9)的混合气体(G<sub>S</sub>)的流量Q<sub>S</sub>的各自检测值输入原料浓度运算部(10)，在所述原料浓度运算部(10)，按Q<sub>2</sub>=Q<sub>S</sub>×P<sub>M0</sub>/P<sub>0</sub>计，运算原料气体流量Q<sub>2</sub>，其中，P<sub>M0</sub>为来源罐内的温度为t时的原料气体(G)的饱和蒸气压，利用所述原料气体流量Q<sub>2</sub>，按K=Q<sub>2</sub>/Q<sub>S</sub>计，运算、显示供给至所述处理室的混合气体(G<sub>S</sub>)的原料浓度K。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||