发明名称 |
料盒传出装置、等离子体设备和料盒传出控制方法 |
摘要 |
本发明提出了一种料盒传出装置,包括:传送带,传送带用于传送料盒,传送带上具有沿料盒传送方向顺序间隔开的第一至第三料盒放置位;驱动装置,驱动装置用于驱动传送带运行;第一至第三传感器,第一至第三传感器分别与第一至第三料盒放置位一一对应以对应地检测第一至第三料盒放置位上是否放置有料盒;控制器,控制器与第一至第三传感器和驱动装置相连以根据第一至第三传感器的检测信号控制驱动装置的运行;和止挡装置。根据本发明实施例的料盒传出装置,可使得第三料盒放置位上始终放置有料盒,保证操作人员单次取走尽可能多的料盒,减少取盒的次数,节省了人力成本。本发明还提出了一种具有上述料盒传出装置的等离子体设备和料盒传出控制方法。 |
申请公布号 |
CN103787050B |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
CN201210430746.7 |
申请日期 |
2012.11.01 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
舒晓芬 |
分类号 |
B65G43/08(2006.01)I |
主分类号 |
B65G43/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
宋合成;黄德海 |
主权项 |
一种料盒传出装置,其特征在于,包括:传送带,所述传送带用于传送料盒,所述传送带上具有沿料盒传送方向顺序间隔开的第一至第三料盒放置位;驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述传送带运行;第一至第三传感器,所述第一至第三传感器分别与所述第一至第三料盒放置位一一对应以对应地检测所述第一至第三料盒放置位上是否放置有所述料盒;控制器,所述控制器与所述第一至第三传感器和所述驱动装置相连,当检测所述第三料盒放置位上有料盒时,执行如下步骤:S21:分别检测所述第一和第二料盒放置位上是否有料盒;S22:当检测到所述第一料盒放置位或所述第二料盒放置位其一有料盒时,控制所述传送带运行;S23:当检测到第一和第二料盒放置位上均放置有料盒时停止所述传送带的运行;S24:当检测到第一料盒放置位和第二料盒放置位上均没有料盒时,控制所述传送带运行;和止挡装置,所述止挡装置邻近所述第三料盒放置位设在所述传送带的下游端部,用于止挡位于所述第三料盒放置位上的料盒。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 |