合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法。本发明制备出的类富勒烯碳薄膜具有高硬度、高弹性、低摩擦、耐腐蚀等性能，提高发动机运动偶件的使用寿命，降低摩擦损耗，进而提高发动机的可靠性、降低维修费用，最终达到降噪、节能和减排的目的。

主权项

一种合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法，其特征在于，所述方法采用磁控溅射沉积多层多组分类富勒烯碳薄膜且包括以下步骤：步骤一、清洗：除油→漂洗→除锈→漂洗→中和→漂洗→脱水；步骤二：本底真空抽至3x10^‑3Pa；步骤三：打开1号Cr靶、3号Cr靶电源，调节靶电流分别为12A，将Ar流量调至240sccm，偏压电源调至600V，沉积15min，然后降低偏压到300V，沉积45min；步骤四：充入100sccmN₂气体，将1号Cr靶、3号Cr靶电流调至14A，偏压300V，沉积60min；步骤五：关闭N₂气体，关闭1号Cr靶、3号Cr靶，打开2号Ti靶、4号Ti靶，调节靶电流分别为12A，偏压电源调至600V，沉积10min；步骤六：将偏压电源降至300V，同时充入CH₄气体80sccm，CH₄流量以10sccm/min的增长速率，增加到240sccm，沉积50min；步骤七：关闭系统，自然冷却至室温取出。