大尺寸蓝宝石衬底退火前的清洗及背面不良返工方法

摘要

本发明提供了一种用于大尺寸蓝宝石衬底片退火前清洗及背面不良返工方法，其特征在于研磨片经过药槽清洗后再经过手工刷洗和搓洗,可有效改善蓝宝石衬底片表面颗粒及洁净度，最后经过酸碱浸泡、冲淋甩干，退火后的衬底片表面洁净度达到无黑白点，无色差，无手印，无沾污，衬底片的良率可达90%以上；本发明还提供了一种背面不良片的返工方法，可避免因纯手工打磨引起的背面粗糙度不一致问题；本发明的特点在于可以有效的改善或去除蓝宝石衬底片表面的粉尘，大大改善衬底片背面不良问题，极大提高成品的良率。

主权项

一种用于大尺寸蓝宝石衬底片退火前清洗方法，包括以下步骤：晶片经过两个80℃清洗剂药槽清洗10min后；用刷子蘸取清洁剂手工刷洗；用粗抛布搓洗；放入60℃纯水槽中超声清洗10min；经过80℃纯水槽中超声清洗10min；室温纯水喷淋5min；放入酸槽中浸泡5‑15min；纯水溢流3min；放入碱槽中浸泡5‑15min；喷淋3min；80℃热风甩干，目检或仪器颗粒检测通过后退火。